Laserhreinsunarlausnir fyrir hálfleiðaraiðnaðinn

Þegar hálfleiðaratækni heldur áfram að minnka, hafa háþróuð samþætt hringrásartæki breyst úr sléttri í þrívíddarbyggingu. Framleiðsluferlið samþættra hringrásar er að verða flóknara og flóknara og þarf oft hundruð eða jafnvel þúsundir vinnsluþrepa. Fyrir háþróaða framleiðslu á hálfleiðarabúnaði, eftir hvert ferli, verða meira eða minna agnir, málmleifar eða lífrænar leifar á yfirborði kísilskífunnar. Stöðug samdráttur í stærð tækjaeiginleika og vaxandi flókið þrívíddar tækjabyggingar hefur gert það að verkum að hálfleiðaratæki eru sífellt viðkvæmari fyrir agnamengun, styrk óhreininda og magni.

Meiri kröfur hafa verið settar fram um hreinsunartækni mengaðra agna á grímuyfirborði kísilþráða. Lykilatriðið er að sigrast á hinum mikla aðsogskrafti milli menguðu agna og undirlagsins. Sem stendur nota margir hálfleiðaraframleiðendur sýruhreinsunaraðferðir. Þvottur og handvirk þurrkun er ekki aðeins óhagkvæm heldur veldur einnig afleiddri mengun. Svo hvers konar hreinsunaraðferð er nú hentugri til að þrífa hálfleiðaravörur? Laserhreinsun er nú heppilegri aðferð. Þegar leysirinn skannar yfir verður öll óhreinindi á yfirborði efnisins fjarlægð og óhreinindi í eyðurnar verða fjarlægð. Það er auðvelt að fjarlægja það, mun ekki klóra yfirborð efnisins og mun ekki valda aukamengun. Það er öruggt val.

Þar að auki, þar sem stærð samþættra hringrásartækja heldur áfram að minnka, hefur efnistap og yfirborðsgrófleiki á meðan á hreinsunarferlinu stendur orðið vandamál sem þarf að huga að. Að fjarlægja agnir án efnistaps og mynsturskemmda er grunnkrafan. Laserhreinsitækni hefur einstaka snertingu, engin hitauppstreymi, engin yfirborðsskemmdir á hlutnum sem á að þrífa og engin afleidd mengun, sem eru óviðjafnanlegir kostir hefðbundinna hreinsunaraðferða. Það er besta hreinsunaraðferðin til að leysa mengun hálfleiðaratækja.